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第413章 万兴刚想出改进的办法。(2 / 2)

通过非球面镜改善相差,相比球面镜,柱镜片,抛物面透镜有更高的精度。

抛雾面透镜技术,相比球面透镜技术,复杂很多,加工难度高很多,加工成本也跟着上升。

导致抛物面透镜比球面透镜贵很多。 同时。

抛物面透镜也不完美。

非球面,光线在进入透镜的时候,折射角度会有所变化,会导致曝光区域的光强度分布不均。

导致图案畸形,或者不完全曝光。 这些都会影响光刻机的精度。

比抛物镜技术更先进的技术是布拉格透镜技术,能制造出一种有周期性变化折射率的光学元件。

这种技术出现在八九十年代。 制造技术更复杂。

成本更高。

万兴邦没有采用布拉格透镜技术,而是采用了更先进的非球面透镜技术。

万兴邦穿越之前,在繁华年代,最先进的光刻机使用的透镜,用的技术就是非球面透镜技术。 相比传统透镜。

非球面透镜技术优点很多,全方位超越传统透镜。

第二代光刻机的技术,不仅在六十年代是领先的,就算再过五六十年,很多技术也不过时。 同时。

第二代光刻机采用了接触式近场光刻技术。

而第一代光刻机,包括出口的阉割版,用的都是远场光刻技术。

远场光刻技术缺点非常明显。 首先受光的衍射限制。

应用远场光刻技术的光刻机,精度根本达不到纳米级别,造成传统光刻机无法应用在纳米领域。 也处理不了特征尺寸非常小或非常大的图案...

罪魁祸首就是光的衍射!

在加工特征尺寸非常小的图案的时候,由于光的衍射效应,造成分辨率有限,无法准确复制小尺寸结构。

加工特征尺寸非常大的图案的时候,又因为投影范围有限,无法覆盖足够大面积,也无法准确复制大尺寸结构。 其次是成本高。

传统光刻机因为技术限制,对原材料要求苛刻,符合加工条件的原材料价格一般都比较贵。 增加了加工成本。

刨除远场光刻技术的缺点。

第一代光刻机和出口阉割本光刻机,还有第二个致命缺点,就是加工的周期比较长。 处理复杂图案的时候,需要多次对准,多次曝光。

就延长了加工周期。 增加了时间成本。

要是芯片需要多层结构或多个工艺,加工中心还会进一步延长,导致加工的时间成本更高。

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