一场由启明芯提供核心技术与光刻胶样品、华芯国际提供量产验证平台与工艺环境、
并由双方顶尖技术团队深度参与的、“神农光刻胶SP-28”小批量产线验证攻坚战,
在华芯国际位于沪上最先进的12英寸晶圆厂内,正式打响!
最初的几轮上线测试,过程并不像在启明芯内部研发线上那般顺利。
毕竟,华芯国际的生产设备型号、工艺参数设置、以及产线环境的控制标准,都与启明芯自有的研发线存在着细微的差异。
这些看似微不足道的差异,在光刻这种“失之毫厘谬以千里”的精密工艺中,
都可能导致最终成像结果的巨大偏差。
“神农光刻胶SP-28”在华芯国际的产线上,一度也出现了诸如与特定底层抗反射膜的附着力不佳、
显影后的图形侧壁陡峭度略有下降、以及在某些关键图形的套刻精度上出现微小漂移等“水土不服”的问题。
华芯国际内部,也一度出现了一些对国产光刻胶的质疑和担忧之声。
但顾维钧和他带领的启明芯技术团队,并没有因此而气馁。
他们与华芯国际的工程师们一起,吃住在产线上,针对每一个出现的问题,都进行了最细致、最深入的根源分析。
“伏羲”AI超算平台,再次成为了他们手中最强大的“秘密武器”!它通过对华芯国际产线实时采集的海量数据与光刻胶的化学组分参数、
以及最终图形的缺陷数据进行超高维度的深度关联建模,
以一种近乎“先知”般的能力,精准地找出了导致问题的关键工艺节点,
并给出了一系列针对华芯国际特定产线环境的、“神农光刻胶SP-28”定制化工艺优化建议!
比如,针对附着力问题,“伏羲”建议在光刻胶涂覆前,对晶圆表面增加一道极其短暂的、特定能量的等离子体预处理工序。
针对图形侧壁陡峭度下降的问题,“伏羲”则建议略微调整光刻胶的后烘温度曲线,
并优化显影液的浓度和显影时间。
这些由AI给出的、看似“反直觉”但又“逻辑自洽”的优化方案,
在经过华芯国际工程师们的审慎评估和上线验证后,
每一次,都带来了令人惊喜的改善效果!
在经历了长达数周、数十轮艰苦卓绝的“人机协同”工艺调试与配方微调之后,